用射频等离子体增强热丝化学气相沉积（ＲＦ－ＨＦＣＶＤ）技术在Ｓｉ，Ｎｉ衬底表面合成了ｃ－ＢＮ膜，结果表明，热丝温度，衬底温度等工艺参量及衬底材料的结构特性是影响ｃ－ＢＮ薄膜......